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1020304050JP 2022-7851 A 2022.1.13 (2)【 特 許 請 求 の 範 囲 】【 請 求 項 １ 】半 導 体 基 板 と 、第 １ 方 向 に ス ト ラ イ プ 状 に 延 び る メ サ 部 を 有 し 、 前 記 第 １ 方 向 に 直 交 す る 第 ２ 方 向 に 前 記 メ サ 部 に 隣 り 合 う 台 座 部 を 有 し 、 前 記 半 導 体 基 板 の 上 に あ る 化 合 物 半 導 体 層 と 、上 面 及 び 側 面 を 有 し て 前 記 上 面 及 び 前 記 側 面 の 間 の 内 角 が 鈍 角 で 、 前 記 化 合 物 半 導 体 層 の 前 記 台 座 部 の 上 に あ る 付 加 絶 縁 膜 と 、前 記 付 加 絶 縁 膜 に 重 な っ て 隆 起 す る 凸 部 を 有 し 、 前 記 メ サ 部 の 少 な く と も 一 部 を 避 け て 前 記 化 合 物 半 導 体 層 及 び 前 記 付 加 絶 縁 膜 を 覆 う パ ッ シ ベ ー シ ョ ン 膜 と 、前 記 メ サ 部 の 前 記 少 な く と も 一 部 の 上 に あ る メ サ 電 極 と 、前 記 凸 部 の 範 囲 内 で 前 記 パ ッ シ ベ ー シ ョ ン 膜 の 上 に あ る パ ッ ド 電 極 と 、前 記 凸 部 の 範 囲 内 及 び 外 側 で 連 続 的 に 前 記 パ ッ シ ベ ー シ ョ ン 膜 の 上 に あ っ て 前 記 パ ッ ド 電 極 及 び 前 記 メ サ 電 極 を 接 続 し 、 前 記 パ ッ ド 電 極 よ り も 幅 に お い て 細 い 引 出 電 極 と 、を 有 す る 半 導 体 光 素 子 。【 請 求 項 ２ 】請 求 項 １ に 記 載 さ れ た 半 導 体 光 素 子 で あ っ て 、前 記 パ ッ シ ベ ー シ ョ ン 膜 は 、 前 記 付 加 絶 縁 膜 の 前 記 上 面 に 接 触 す る 第 １ 部 分 と 、 前 記 付 加 絶 縁 膜 の 前 記 側 面 に 接 触 し て 前 記 第 １ 部 分 よ り も 低 い 第 ２ 部 分 と 、 を 含 む 半 導 体 光 素 子 。【 請 求 項 ３ 】請 求 項 ２ に 記 載 さ れ た 半 導 体 光 素 子 で あ っ て 、前 記 第 １ 部 分 及 び 前 記 第 ２ 部 分 は 、 全 体 的 に 途 切 れ な く 一 体 的 に 連 続 し て い る 半 導 体 光 素 子 。【 請 求 項 ４ 】請 求 項 ２ に 記 載 さ れ た 半 導 体 光 素 子 で あ っ て 、前 記 第 １ 部 分 及 び 前 記 第 ２ 部 分 は 、 少 な く と も 部 分 的 に 分 離 さ れ て い る 半 導 体 光 素 子 。【 請 求 項 ５ 】請 求 項 ４ に 記 載 さ れ た 半 導 体 光 素 子 で あ っ て 、前 記 第 １ 部 分 は 、 前 記 第 ２ 部 分 と は 完 全 に 分 離 さ れ て 前 記 付 加 絶 縁 膜 の 前 記 上 面 の 範 囲 内 に 位 置 す る 半 導 体 光 素 子 。【 請 求 項 ６ 】請 求 項 １ か ら ５ の い ず れ か １ 項 に 記 載 さ れ た 半 導 体 光 素 子 で あ っ て 、前 記 パ ッ シ ベ ー シ ョ ン 膜 及 び 前 記 付 加 絶 縁 膜 の 少 な く と も 一 方 は 、 積 層 さ れ た 複 数 層 か ら な る 半 導 体 光 素 子 。【 請 求 項 ７ 】請 求 項 １ か ら ６ の い ず れ か １ 項 に 記 載 さ れ た 半 導 体 光 素 子 で あ っ て 、前 記 パ ッ シ ベ ー シ ョ ン 膜 は 、 厚 み に お い て 前 記 付 加 絶 縁 膜 と 等 し い 半 導 体 光 素 子 。【 請 求 項 ８ 】第 １ 方 向 に ス ト ラ イ プ 状 に 延 び る メ サ 部 を 有 し 、 前 記 第 １ 方 向 に 直 交 す る 第 ２ 方 向 に 前 記 メ サ 部 に 隣 り 合 う 台 座 部 を 有 す る 化 合 物 半 導 体 層 を 、 半 導 体 基 板 の 上 に 形 成 す る こ と 、上 面 及 び 側 面 を 有 し て 前 記 上 面 及 び 前 記 側 面 の 間 の 内 角 が 鈍 角 で あ る 付 加 絶 縁 膜 を 、 前 記 化 合 物 半 導 体 層 の 前 記 台 座 部 の 上 に 形 成 す る こ と 、前 記 付 加 絶 縁 膜 に 重 な っ て 隆 起 す る 凸 部 を 有 し 、 前 記 メ サ 部 の 少 な く と も 一 部 を 避 け て 前 記 化 合 物 半 導 体 層 及 び 前 記 付 加 絶 縁 膜 を 覆 う パ ッ シ ベ ー シ ョ ン 膜 を 、 化 学 蒸 着 に よ っ て 形 成 す る こ と 、 及 び 、電 極 を 形 成 す る こ と 、を 含 み 、前 記 電 極 は 、 前 記 メ サ 部 の 前 記 少 な く と も 一 部 の 上 に あ る メ サ 電 極 と 、 前 記 凸 部 の 範 囲 内 で 前 記 パ ッ シ ベ ー シ ョ ン 膜 の 上 に あ る パ ッ ド 電 極 と 、 前 記 凸 部 の 範 囲 内 及 び 外 側 で 連 続 的 に 前 記 パ ッ シ ベ ー シ ョ ン 膜 の 上 に あ っ て 前 記 パ ッ ド 電 極 及 び 前 記 メ サ 電 極 を 接 続 し て 前 記 パ ッ ド 電 極 よ り も 幅 に お い て 細 い 引 出 電 極 と 、 を 含 む 半 導 体 光 素 子 の 製 造 方 法 。