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(2) JP 2021-83158 A 2021.5.271020304050【特許請求の範囲】【請求項１】　真空用モータと、　前記真空用モータにより駆動されるアームと、を有し、　前記真空用モータは、　軸方向に延設されたシャフトと、　前記シャフトを回転可能に支持する軸受と、　前記シャフトと共に回転可能に配置され、スリットが形成されたディスクと、　非磁性材料で構成され、前記軸受を支持する軸受支持部材と、　前記軸受支持部材に前記軸方向に凹むように形成された凹部と、　前記凹部により形成された薄肉部を介して前記ディスクと前記軸方向に対向するように配置され、前記スリットを検出する磁気式センサと、を有し、　前記磁気式センサが配置され大気圧となる空間と、前記ディスクが配置され前記大気圧よりも低い圧力に減圧される空間とが、前記薄肉部により隔絶されている、　ことを特徴とする真空用ロボット。【請求項２】　前記磁気式センサは、　前記凹部に収容されている、　ことを特徴とする請求項１に記載の真空用ロボット。【請求項３】　前記凹部は、　前記磁気式センサの前記軸方向の厚みよりも大きな前記軸方向の深さを有する、　ことを特徴とする請求項２に記載の真空用ロボット。【請求項４】　前記磁気式センサは、　センサヘッド基板と、　前記センサヘッド基板を支持するセンサ支持部材と、　前記センサヘッド基板の信号を処理する信号処理基板と、を有し、　前記センサヘッド基板、前記センサ支持部材、及び前記信号処理基板は、　前記軸方向に積層されて前記凹部に収容されており、　前記凹部は、　積層された前記センサヘッド基板、前記センサ支持部材、及び前記信号処理基板の前記軸方向の厚みよりも大きな前記軸方向の深さを有する、　ことを特徴とする請求項３に記載の真空用ロボット。【請求項５】　前記センサ支持部材は、　非磁性材料で構成されている、　ことを特徴とする請求項４に記載の真空用ロボット。【請求項６】　前記真空用ロボットは、　複数台の前記真空用モータを有しており、　前記複数台の真空用モータは、　前記軸方向に積層されて配置されている、　ことを特徴とする請求項１～５のいずれか１項に記載の真空用ロボット。【請求項７】　前記凹部は、　前記軸受支持部材の前記軸方向の一方側の表面に前記軸方向の他方側に向けて凹むように形成されており、且つ、前記軸方向の凹みが前記軸受支持部材の径方向の外側の表面に至るように形成されている、　ことを特徴とする請求項１～６のいずれか１項に記載の真空用ロボット。