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(2) JP 2021-156287 A 2021.10.71020304050【特許請求の範囲】【請求項１】　真空ポンプ（１１）、特にターボ分子真空ポンプ、又は少なくとも１つの真空ポンプ（１１）、特にターボ分子真空ポンプを有する真空システム（１２）において、　真空ポンプ（１１）に対応付けられた慣性計測ユニット（１４）を備え、慣性計測ユニット（１４）は、少なくとも１つの慣性センサ（１６）、特に加速度センサ又は角速度センサを有し、慣性センサ（１６）は、真空ポンプ（１１）の動き及び／又は真空ポンプ（１１）の配向を取得し、特に生計測データ及び／又は処理された計測データとしてのこれに関する計測データ、及び／又はこれらの計測データの判定によって得られる情報を提供するように構成されている、真空ポンプ（１１）。【請求項２】　真空ポンプ（１１）には、慣性計測ユニット（１４）に接続された制御装置（１８）が対応付けられていて、制御装置（１８）は、慣性計測ユニット（１４）の計測データを判定するように構成されている、かつ／又は、　真空ポンプ（１１）には、出力装置、特にインタフェース（２９）又はアクセサリ接続部（２７）が対応付けられていて、出力装置を介して、慣性計測ユニット（１４）の計測データ及び／又はこれらの計測データの判定によって得られる情報を出力する又は呼び出すことができ、かつ／又は、　真空ポンプ（１１）には、記憶装置（２０）が対応付けられていて、記憶装置（２０）は、慣性計測ユニット（１４）の計測データ及び／又はこれらの計測データの判定によって得られる情報を保存するように構成されている、請求項１に記載の真空ポンプ（１１）。【請求項３】　慣性計測ユニット（１４）は、複数の慣性センサ（１６）の空間的な配置構造を有し、特に慣性計測ユニット（１４）は、真空ポンプ（１１）の、対で見て相互に直交して延在する３本の並進軸線のうちのそれぞれ１本が対応付けられた２つ又は３つの加速度センサ、及び／又は真空ポンプ（１１）の、対で見て相互に直交して延在する３本の回転軸線のうちのそれぞれ１本が対応付けられた２つ又は３つの角速度センサを有する、請求項１又は２に記載の真空ポンプ（１１）。【請求項４】　慣性計測ユニット（１４）は、ＭＥＭＳ（微小電気機械システム）として構成されている、又はＭＥＭＳの構成部分である、又は光学システムとして構成されている、かつ／又は、　慣性計測ユニット（１４）は、真空ポンプ（１１）の真空フィードスルー（２２）に組み付けられていて、特に慣性計測ユニット（１４）は、真空フィードスルー（２２）を形成するボード上に配置されている、請求項１から３のいずれか１項に記載の真空ポンプ（１１）。【請求項５】　請求項１から４のいずれか１項に記載の真空ポンプ（１１）を監視する又は請求項１から４のいずれか１項に記載の少なくとも１つの真空ポンプ（１１）を有する真空システム（１２）を監視する方法において、　真空ポンプ（１１）又は真空システム（１２）の運転前、運転中及び／又は運転後に、真空ポンプ（１１）の慣性計測ユニット（１４）を用いて、真空ポンプ（１１）の動き及び／又は真空ポンプ（１１）の配向及び／又は真空システム（１２）の動きを取得し、特に慣性センサ（１６）の生計測データ及び／又は処理された計測データとしての、これに関する計測データ、及び／又はこれらの計測データの判定によって得られる情報を提供する、方法。【請求項６】　計測データに基づいて、真空ポンプ（１１）及び／又は真空システム（１２）の１つ又は複数の状態情報を特定し、