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(2) JP 2020-190405 A 2020.11.261020304050【特許請求の範囲】【請求項１】基板上の溶液を減圧下で乾燥させる減圧乾燥装置であって、前記基板を収容する容器と、前記容器内に設けられ、前記基板が載置される載置台と、前記載置台に載置された前記基板と対向するように前記容器内に設けられ、当該基板から気化した前記溶液中の溶媒を一時的に捕集する溶媒捕集部材とを備え、前記溶媒捕集部材は、　複数の開口を有する平板状に形成された、溶媒捕集分割部材を複数有し、　前記複数の溶媒捕集分割部材それぞれの平面視における側端同士を接合させてなる、減圧乾燥装置。【請求項２】前記複数の溶媒捕集分割部材それぞれの平面視における側端同士の接合は、レーザ溶接により行われる、請求項１に記載の減圧乾燥装置。【請求項３】前記溶媒捕集分割部材の前記側端の接合しろは、０．１５ｍｍ以上１ｍｍ以下である、請求項２に記載の減圧乾燥装置。【請求項４】前記複数の溶媒捕集分割部材それぞれの平面視における側端同士の接合は、スポット溶接により行われる、請求項１に記載の減圧乾燥装置。【請求項５】互いに隣接する前記溶媒捕集分割部材の一方の前記側端の上面と、他方の前記側端の下面とが溶接される、請求項４に記載の減圧乾燥装置。【請求項６】前記複数の溶媒捕集分割部材それぞれの平面視における側端同士の接合は、接合部品を用いて行われる、請求項１に記載の減圧乾燥装置。【請求項７】前記溶媒捕集分割部材の前記側端の接合しろは、前記溶媒捕集部材の面内で異なっている、請求項１～６のいずれか１項に記載の減圧乾燥装置。【請求項８】前記複数の溶媒捕集分割部材それぞれの単位面積当たりの熱容量が互いに異なる、請求項１～７のいずれか１項に記載の減圧乾燥装置。【請求項９】前記溶媒捕集部材が固定される枠体を備え、前記溶媒捕集部材は、前記枠体が前記基板と対向する領域に位置しないように、支持される、請求項１～８のいずれか１項に記載の減圧乾燥装置。【請求項１０】基板上の溶液から気化した当該溶液中の溶媒を一時的に捕集する溶媒捕集部材の製造方法であって、複数の板材それぞれに複数の開口を形成し、複数の溶媒捕集分割材を形成する工程と、前記複数の溶媒捕集分割部材それぞれの平面視における側端同士を接合させ、前記複数の溶媒捕集分割部材を連結させる工程を含む、溶媒捕集部材の製造方法。 【発明の詳細な説明】【技術分野】【０００１】　本開示は、減圧乾燥装置及び溶媒捕集部材の製造方法に関する。【背景技術】【０００２】　特許文献１には、チャンバ内に収納された基板上の溶液を減圧状態で乾燥させる減圧乾