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(2) JP 2021-15141 A 2021.2.121020304050【特許請求の範囲】【請求項１】　第１凹反射面と、第１凸反射面と、第２凹反射面と、第２凸反射面と、第３凹反射面とを有する光学装置であって、　物体面からの光が、前記第１凹反射面、前記第１凸反射面、前記第２凹反射面、前記第２凸反射面、前記第３凹反射面の順に反射して像面に結像するように、前記第１凹反射面、前記第１凸反射面、前記第２凹反射面、２凸反射面及び前記第３凹反射面が配置され、　前記第２凹反射面に対向して配置された気流形成部を有し、該気流形成部は、前記物体面からの光が照射されない領域に配置されていることを特徴とする光学装置。【請求項２】　前記気流形成部は、前記第２凹反射面に対向して配置され、前記第２凹反射面に向けて気体を吹き出す吹出口を備えることを特徴とする請求項１に記載の光学装置。、【請求項３】　前記吹出口を進退させることで前記吹出口と前記第２凹反射面との距離を変更する進退部を備えることを特徴とする請求項２に記載の光学装置。【請求項４】　前記吹出口は、複数配置され、　前記複数の吹出口は、それぞれ独立して制御されることを特徴とする請求項２または３に記載の光学装置。【請求項５】　前記吹出口は、前記第２凹反射面の中央に向けて前記気体を吹き出すことを特徴とする請求項２乃至４のいずれか１項に記載の光学装置。【請求項６】　前記吹出口は、整流された気体を吹き出すことを特徴とする請求項２乃至５のいずれか１項に記載の光学装置。【請求項７】　前記第１凸反射面と前記第２凸反射面とを含む凸面鏡を備え、　前記吹出口は、前記凸面鏡の光路の有効領域外に設けられた穴または前記凸面鏡の光路の有効領域外の表面に配置されることを特徴とする請求項２乃至６のいずれか１項に記載の光学装置。【請求項８】　前記気流形成部は、前記吹出口に接続され、前記吹出口に気体を供給する管を有し、　前記管は、前記凸面鏡上の光路の有効領域外に沿うように配置されることを特徴とする請求項７に記載の光学装置。【請求項９】　前記吹出口から吹き出された気体を吸引する吸引部を備えることを特徴とする請求項２乃至８のいずれか１項に記載の光学装置。【請求項１０】　前記第２凹反射面の温度状態を取得する取得部と、　前記吹出口の気体を吹き出す方向を変更させる駆動部と、を備え、　前記駆動部は、前記取得部の取得結果に基づき、前記方向を変更させることを特徴とする請求項２乃至９のいずれか１項に記載の光学装置。【請求項１１】　前記取得部は、前記第２凹反射面に対向して配置されることを特徴とする請求項１０に記載の光学装置。【請求項１２】　第１凹反射面と、第１凸反射面と、第２凹反射面と、第２凸反射面と、第３凹反射面とを有する光学装置であって、　物体面からの光が、前記第１凹反射面、前記第１凸反射面、前記第２凹反射面、前記第２凸反射面、前記第３凹反射面の順に反射して像面に結像するように、前記第１凹反射面