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(2) JP 2021-114619 A 2021.8.51020304050【特許請求の範囲】【請求項１】　試料の欠陥検出及び光ルミネセンス測定のためのシステムであって、　前記試料の一部分上に第１の波長の光ビームを方向付けるように構成される放射線源であって、前記第１の波長の光ビームが、前記試料の１つ以上の光ルミネセンス欠陥に光ルミネセンス光を出射させるのに好適である、放射線源と、　前記試料からの放射線を収集するように構成される一組の収集光学素子であって、前記試料からの前記放射線が、前記試料の前記１つ以上の光ルミネセンス欠陥によって出射される光ルミネセンス放射線を少なくとも含む、一組の収集光学素子と、　前記一組の収集光学素子によって収集される前記放射線の少なくとも一部分を受容するように構成されるフィルタ下位系であって、前記フィルタ下位系が、前記試料からの前記放射線を２つ以上の放射線部分に分離するように構成され、少なくとも第１の放射線部分が、前記試料の前記１つ以上の光ルミネセンス欠陥によって出射される前記光と関連する可視または近赤外スペクトル中の１つ以上の波長を含み、少なくとも第２の放射線部分が、前記試料の前記１つ以上の光ルミネセンス欠陥によって出射される前記光と関連する紫外線スペクトル中の１つ以上の波長を含む、フィルタ下位系と、　前記フィルタ下位系によって透過される前記第１の放射線部分の１つ以上の特徴を測定するための第１のセンサと、前記フィルタ下位系によって透過される前記第２の放射線部分の１つ以上の特徴を測定するための第２のセンサとのうち少なくとも１つを含む、検出下位系と、　前記第１のセンサ及び前記第２のセンサに通信可能に連結される制御装置であって、前記第１のセンサ及び前記第２のセンサの少なくとも１つによって検出された前記光に基づき光ルミネセンス欠陥を検出するように構成される、制御装置と、　を備えるシステム。【請求項２】　前記第１のセンサ及び前記第２のセンサのうちの少なくとも１つが、前記試料の１つ以上の光ルミネセンス欠陥からの紫外線光ルミネセンス光または近紫外光ルミネセンス光を測定するように構成される、請求項１に記載のシステム。【請求項３】　試料の欠陥検出及び光ルミネセンス測定のためのシステムであって、　前記試料の一部分上に第１の波長の光ビームを方向付けるように構成される第１の放射線源であって、前記第１の波長の光ビームが、前記試料の１つ以上の光ルミネセンス欠陥に光ルミネセンス光を出射させるのに好適である、第１の放射線源と、　前記試料からの放射線を収集するように構成される一組の収集光学素子であって、前記試料からの前記放射線が、前記試料の前記１つ以上の光ルミネセンス欠陥によって出射される光ルミネセンス放射線を少なくとも含む、一組の収集光学素子と、　前記一組の収集光学素子によって収集される前記放射線の少なくとも一部分を受容するように構成されるフィルタ下位系であって、前記フィルタ下位系が、前記試料からの前記放射線を、光ルミネセンス放射線の複数の部分に分離するように構成され、各部分が、前記試料の前記１つ以上の光ルミネセンス欠陥によって出射される前記放射線の異なるスペクトル範囲中の１つ以上の波長を含む、フィルタ下位系と、　複数のセンサを含む検出下位系であって、各センサが、前記フィルタ下位系によって透過される光ルミネセンス放射線の前記複数の部分のうちの１つの１つ以上の特徴を測定するのに好適である、検出下位系と、　前記複数のセンサのそれぞれに通信可能に連結される制御装置であって、前記複数のセンサのそれぞれによって検出される前記光に基づき、１つ以上の光ルミネセンス欠陥を検出するように構成される、制御装置と、　を備えるシステム。【請求項４】　前記制御装置が、前記複数のセンサのそれぞれによって測定される１つ以上の信号に基