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188宝金博页面版: EPROM脉冲总剂量损伤效应实验研究 Pulsed Total Dose Damage Effect Experimental Study on EPROM

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内容提示: 第3 l卷第7 期2 0 11年7 月核电子学与探测技术N u c le a rE le c tr o n ic s& D e te c tio nT e c h n o lo g yV 0 1. 3lN o . 7Ju ly.2 0 11E P R O M 脉冲总剂量损伤效应实验研究罗尹虹, 姚志斌, 张凤祁, 郭红霞, 张科营, 王园明, 何宝平( 西北核技术研究所, 陕西西安7 10 0 24 )摘要: 针对目前国内存储器辐照效应研究大多集中于功能测试, 所测参数少的现状, 提出了浮栅型存储器阈值电压的测试方法, 并对浮栅型存储器E P R O M 初步开展了脉冲总剂量对器件阈值电压影响的效应研究, 分析了损伤机理。 研究结果表明, 脉冲总剂量引起存储单元阈值电压向负方向发生明显漂移, 在不加电和静态加电两种情况下, 存储单元阈值电压漂移基本一致。关键词: E P R O M ; ...

文档格式:PDF | 页数:5 | 浏览次数:24 | 上传日期:2015-04-14 00:20:32 | 文档星级:
第3 l卷第7 期2 0 11年7 月核电子学与探测技术N u c le a rE le c tr o n ic s& D e te c tio nT e c h n o lo g yV 0 1. 3lN o . 7Ju ly.2 0 11E P R O M 脉冲总剂量损伤效应实验研究罗尹虹, 姚志斌, 张凤祁, 郭红霞, 张科营, 王园明, 何宝平( 西北核技术研究所, 陕西西安7 10 0 24 )摘要: 针对目前国内存储器辐照效应研究大多集中于功能测试, 所测参数少的现状, 提出了浮栅型存储器阈值电压的测试方法, 并对浮栅型存储器E P R O M 初步开展了脉冲总剂量对器件阈值电压影响的效应研究, 分析了损伤机理。 研究结果表明, 脉冲总剂量引起存储单元阈值电压向负方向发生明显漂移, 在不加电和静态加电两种情况下, 存储单元阈值电压漂移基本一致。关键词: E P R O M ; 阈值电压; 脉冲总剂量中图分类号: T N38 6 . 1文献标识码:A文章编号: 0 258 - 0 9 34 ( 20 11)0 7 - 0 7 52- 0 5浮栅R O M 器件和静态随机存储器( S R A M)相比, 其存储的数据是非挥发性的, 即使掉电, 也不会丢失数据, 目前市场上的大多数E P R O M 、 E E P R O M 、 F la shR O M 都是基于这种结构的。 因此, 浮栅R O M 器件在军事、 宇航等要求高可靠、 强抗辐照领域得到广泛应用, 开展浮栅R O M 器件脉冲总剂量辐射效应研究具有重大的现实意义和应用价值。M O S F E T 的研究已经进行了四五十年, 辐照效应对其所造成的性能退化主要体现在阈值电压、 漏电流两个参数的变化上。 目前大多数的集成电路都是基于M O S F E T 结构所形成的,其抗辐照性能很大程度上取决于其中的M O S管的抗辐照性能。 但由于器件的集成, 无法从外部管脚直接测试某个内部M O S 管的参数, 从而使得大规模集成电路包括存储器的辐照效应研究很长时间停滞在定性的研究程度上。过去通常对存储器仅进行功能测试, 通过在读状态下读取地址单元内存储的数据是否发生翻转来判定器件的抗总剂量能力, 很少从参收稿日期: 20∞一鸺一24作者简介: 罗尹虹( 19 7 4 一); 女, 四川资中人, 副研究员, 主要从事半导体器件辐射效应和加固技术研究。7 52数上定量地描述器件随辐照剂量变化所造成的性能变化。 不仅导致需要的测试时间较长, 无法获取脉冲总剂量对存储器造成的瞬时辐射损伤, 而且不能全面分析辐照对器件造成的损伤机理, 从而进行有效的器件加固, 因此有必要对存储器的某些电参数特性进行测试, 本文主要针对浮栅型存储器初步开展脉冲总剂量对器件阈值电压影响的效应研究, 为今后深入开展这方面的研究提供技术支持。l测试原理浮栅R O M 存储单元的基本结构如图l所示…。 不同于S R A M , 它有两个栅: 一个控制栅和一个位于沟道和控制栅之间的浮栅。 沟道和浮栅之间的氧化层很。 电子可以通过F —N隧道效应或热电子注入机理在浮栅和源区或沟道之间传输。 根据浮栅的带电状态, 存储单元就成为耗尽型或增强型的晶体管。 对于控制栅上的一定电压, 晶体管就处于截止或导通状态,对应于存储信息“0” 或“l“。 一般情况下, 浮栅R O M 写入信息前, 浮栅上无电子, 晶体管导通,表示存“l” 。 写入信息的过程就是使电子注入浮栅. 晶体管截止, 表示存“0” 。 存储单元外围有锁存器、 译码器、 缓冲器、 时钟、 锁存控制和逻万方数据

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