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188宝金博页面版: 自主飞行救护车

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内容提示: (19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 202010590069.X(22)申请日 2020.06.24(71)申请人 浙江大学地址 310013 浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号(72)发明人 谢磊 吴小菲 徐浩杰 陈启明 苏宏业 (74)专利代理机构 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224代理人 彭剑(51)Int.Cl.G06F 30/27 (2020.01)G06N 3/04 (2006.01)G06N 3/08 (2006.01) (54)发明名称一种基于卷积神经网络的多阶段半导体过程虚拟计量方法(57)摘要本发明公开了一种基于卷积神经网络的多阶段半导体过程虚拟计量方法,包括以下...

文档格式:PDF | 页数:11 | 浏览次数:8 | 上传日期:2023-08-25 20:02:00 | 文档星级:
(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 202010590069.X(22)申请日 2020.06.24(71)申请人 浙江大学地址 310013 浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号(72)发明人 谢磊 吴小菲 徐浩杰 陈启明 苏宏业 (74)专利代理机构 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224代理人 彭剑(51)Int.Cl.G06F 30/27 (2020.01)G06N 3/04 (2006.01)G06N 3/08 (2006.01) (54)发明名称一种基于卷积神经网络的多阶段半导体过程虚拟计量方法(57)摘要本发明公开了一种基于卷积神经网络的多阶段半导体过程虚拟计量方法,包括以下步骤:(1)对待检测的控制过程,采集与待检测变量相关的过程变量传感器的输出信号;(2)对采集的过程变量的信号数据进行预处理,去除异常值;(3)对预处理后的数据进行重新排列并保留数据的阶段信息;(4)所有数据进行特征提取并建立回归模型;(5)保存当前参数权重,计算最终最小误差值,若不满足停止条件,更新参数并重复步骤(4),直至达到停止条件;(6)保存各层参数值,对新的预测点进行重新计算。利用本发明,能够获取更高精度的虚拟计量结果。权利要求书2页 说明书6页 附图2页CN 111898311 A2020.11.06CN 111898311 A

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