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188宝金博页面版: 马来酰亚胺—苯乙烯共聚物类型的光刻胶
内容提示： 感 光 材 牵} 991年第 1 马来酰亚胺-_ -苯 乙烯共聚物类型的光刻胶 山西大学 陈晃斌 太原师专 沈周抄 摘要：近几年用马来酰亚胺一苯乙烯共 聚物作为粘合剂应活性物 的光剡腚体系有很 多研 究。本文综 述 了这 方面的研 究进展 。 大规模集成 电路的发展以及光刻蚀印刷 业的飞速前进，使光刻腔的研究处于方兴未 艾之势，各种光致抗蚀剂体系不断出现“ ” 。 有的虽然还处于探索阶段，但已显示出优 良 的性能} 有的已用于实际。马来酰亚胺一苯 乙烯共聚物体系届其中的一种． 1．正性光敏抗蚀剂 1987年，F ．J ．We]gert等 介 绍 了 一 种新型、高感光速率的正性光致抗蚀剂...
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