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188宝金博页面版: 超薄 MoN扩散阻挡层的扩散阻挡性能分析
内容提示： 第 ２５ 卷第 ５ 期２０１２ 年 １０ 月四川 理工学院学报（ 自 然科学版）Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ｓｉｃｈｕａｎ Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ ｏｆ Ｓｃｉｅｎｃｅ ＆ Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ（ Ｎａｔｕｒａｌ Ｓｃｉｅｎｃｅ Ｅｄｉｔｉｏｎ）Ｖｏｌ ２５。危铼 ５Ｏｃｔ ２０１２收稿日 期：２０１２０９２０基金项目：国家自 然科学基金青年基金项目 （５１２０１１１１） ；材料腐蚀与 防护四川 省重点实验室开放基金项目 （２０１１ＣＬ１５） ；四川 理工学院人才引 进基金项目 （２０１１ＲＣ０５、２０１１ＲＣ０３） ；四川 省188宝金博页面版厅项目 （１２ＺＢ２８５）作者简介：刘春海（１９７８） ，男，四川 内江人， 讲师，博士，主要从事材料表面改性与薄膜材料方面的研究，（ Ｅｍａｉｌ） ｌｃｈ０９５７＠ １６３． ｃｏｍ文章编号：１６７３１５４９（ ２０１２） ０５００１５０４ＤＯＩ：１０． ３９６９ ／ｊ． ｉｓｓｎ． １６７３１５４９． ２０１２． ０５． ００４超薄 ＭｏＮ 扩散阻挡层的扩散阻挡性能分析刘春海１，２， 王 龙１，２， 崔学军１，２， 金永中１，２， 叶 松３（１． 四川理工学院材料与化学工程学院， 四川 自 贡 ６４３０００； ２． 材料腐蚀与防护四川省重点实验室， 四川 自 贡 ６４３０００；３． 巢湖学院电子工程与电气自 动...
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