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188宝金博页面版: 薄膜晶体缺陷形成与控制的分子动力学模拟研究_(精品论文)
内容提示： 摘要薄膜晶体缺陷形成与控制的分子动力学模拟研究摘要薄膜晶体缺陷主要形成于原子沉积生长过程之中，而现有实验分析手段的空间和时间分辨能力都无法胜任对原子尺度微观过程的研究。我们以面心立方金属为对象、采用三维分子动力学方法对几种薄膜缺陷形成的原子机理与控制方法进行了原子模拟研究。原子间相互作用力采用EAM 多体势函数计算。研究内容包括：外延薄膜沉积生长的分子动力学模型、模拟方法与相应程序的建立及对原子沉积过程的基本研究；<11i >外延生长薄膜中失配位错、孪晶与一种应力致生长织构的结构、形成机制及可能的控制方法；在纳米晶柱阵列衬...
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