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188宝金博页面版: 薄膜参数测量优化算法及其软件实现_(精品论文)

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内容提示: 浙江大学硕士学位论文摘要论文在阗读大量国内外文献资料的基础上,对反射光谱法测量薄膜参数进行了系统的研究;对薄膜参数测试中常用的遗传算法,模拟退火算法的发展状况进行分析。在此基础上根据薄膜光学计算理论和最优化理论,提出了一种测量多层薄膜厚度的新的全局优化算法一一GAsA算法。首先利用遗传的种群性去寻找多个局部极值,然后将较优和较差的种群按一定概率接收并作为模拟退火的初值进行搜索,最后结合共轭梯度算法来提高收敛速度,使整体搜索效率进一步提高。这种新型混合遗传退火算法不仅能提高薄膜测试的稳定性,也大大拓展了薄膜参数搜索范围。在前述...

文档格式:PDF | 页数:66 | 浏览次数:13 | 上传日期:2015-02-02 08:26:07 | 文档星级:
浙江大学硕士学位论文摘要论文在阗读大量国内外文献资料的基础上,对反射光谱法测量薄膜参数进行了系统的研究;对薄膜参数测试中常用的遗传算法,模拟退火算法的发展状况进行分析。在此基础上根据薄膜光学计算理论和最优化理论,提出了一种测量多层薄膜厚度的新的全局优化算法一一GAsA算法。首先利用遗传的种群性去寻找多个局部极值,然后将较优和较差的种群按一定概率接收并作为模拟退火的初值进行搜索,最后结合共轭梯度算法来提高收敛速度,使整体搜索效率进一步提高。这种新型混合遗传退火算法不仅能提高薄膜测试的稳定性,也大大拓展了薄膜参数搜索范围。在前述算法研究的基础上,设计了用于薄参数测试的光谱透过率与反射率测量系统,并对各个部件的性能要求进行了全面的分析与介绍,给出了器件的选择依据。在实验验证方面,借助于薄膜透过率反射率测量系统,以三层和四层光学薄膜为例,利用本论文得出的算法在10ri m 至5“ m 的大范围内搜索,所取得的结果,其测量误差小于1%。关键词:多层薄膜测量;遗传退火算法;自适应模拟退火算法;遗传算法;共轭梯度算法V

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