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188宝金博页面版: 一种基于双闭环的扫描光栅微镜机械摆角的控制方法
内容提示： (19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 202111434331.2(22)申请日 2021.11.29(71)申请人 重庆川仪自动化股份有限公司地址 400700 重庆市北碚区人民村1号(72)发明人 郝文元 吴珂 黄明洋 周颖 温晓康 (74)专利代理机构 重庆志合专利事务所(普通合伙) 50210代理人 徐传智(51)Int.Cl.G01N 21/01 (2006.01)G01N 21/31 (2006.01)G02B 26/08 (2006.01)G02B 26/10 (2006.01)G05D 3/12 (2006.01) (54)发明名称一种基于双闭环的扫描光栅微镜机械摆角的控制方法(57)摘要一种基于双闭环的扫描光栅...
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