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188宝金博页面版: 电容压力微传感器数值分析
内容提示： 74 中国科学 E 辑 工程科学 材料科学 2005, 35(1): 74~84 SCIENCE IN CHINA Ser. E Engineering & Materials Science 电容压力微传感器数值分析* 王小民 李明轩 汪承灏 (中国科学院声学研究所, 北京 100080) 摘要 用伪谱算法对电容压力微传感器极板膜在均匀载荷条件下的弯曲行为作了数值模拟, 叙述了伪谱算法原理, 并将其用于微传感器的载荷与电容关系分析. 对于非接触式电容压力微传感器, 只有在小载荷(引起的最大垂向位移甚小于极板膜厚度)的条件下, 才可以忽略作用于极板膜的中平面的张力, 此时, 微传感器的电容与载荷...
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