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188宝金博页面版: 半导体单晶晶向测定方法(1)

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内容提示: GBfT 1555-- 1997前言 本标准等效采用AST M F26- 87a《 半导体单晶晶向测定方法》 , 对GB 1555- 79,(硅单晶晶向光图测量方法》 ,GB 1556- 79( (硅单晶晶向X 光衍射测量方法》 ,GB 5254- 85( (锗单晶晶问k 光衍射测定方法},GB 5255- 85((锗单晶晶向光反射图像测定方法》 及GB 8759 -88《 化合物半导体单晶品向X 光反射测量方法》 进行修订, 将上述 5个标准合并为本标准 本标准技术内容与AST M F26等效, 分为方法A X 射线衍射方法和方法 B 光图定间法两种方法 等效采用ASTM F 26时, 删去“安全措施”的内容, 使用X 射线的安全措施按我国有...

文档格式:PDF | 页数:8 | 浏览次数:108 | 上传日期:2015-02-04 03:45:43 | 文档星级:
GBfT 1555-- 1997前言 本标准等效采用AST M F26- 87a《 半导体单晶晶向测定方法》 , 对GB 1555- 79,(硅单晶晶向光图测量方法》 ,GB 1556- 79( (硅单晶晶向X 光衍射测量方法》 ,GB 5254- 85( (锗单晶晶问k 光衍射测定方法},GB 5255- 85((锗单晶晶向光反射图像测定方法》 及GB 8759 -88《 化合物半导体单晶品向X 光反射测量方法》 进行修订, 将上述 5个标准合并为本标准 本标准技术内容与AST M F26等效, 分为方法A X 射线衍射方法和方法 B 光图定间法两种方法 等效采用ASTM F 26时, 删去“安全措施”的内容, 使用X 射线的安全措施按我国有关规定执行. 本标准内容比原5个标准都详细、 完整, 结构上科学、 合理。 本标准实施之日 起, 代替GB 1555- 79,GB 1556- 79,GB 5254- 85,GB 5255- 85,GB 8759- 88 本标准由中国有色金属工业总公司提出。 本标准由中国有色金属工业总公司标准计量研究所归口。 本标准由峨嵋半导体材料厂负责起草 本标准主要起草人:康自 卫、 刘文魁、 王鸿高 本标准于1979年6月首次发布, 1997年第一次修订

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