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188宝金博页面版: 基于可编程逻辑控制器的MOCVD控制系统设计及研究
内容提示： 摘要Ｍ ｏ Ｖ Ｃ Ｖ Ｄ （ Ｍ ｅ ｔａ ｌ ０ ｒ ｇ ａ ｎ ｊｃ ｃ ｈ ｅ ｍ ｉｃ ａ ｌＶ ａ ｐ ｏ ｒ Ｄ ｅ ｐ ｏ ｓｉｔｉｏ ｎ ）是一种高质量的半导体材料生长技术， 主要应用于半导体材料、 纳米材料等材料生长领域。 本项目来源为陕西省自然基金资助项目。 针对西安电子科技大学Ｍ Ｏ Ｃ ｖ Ｄ 系统， 根据Ｍ ｏ Ｃ Ｖ Ｄ 系统工艺要求， 进行了基于可编程逻辑控制器的Ｍ ０ ｃＶ Ｄ 设计与研究。针对第一代Ｍ ｏ ｃＶ Ｄ 系统的不足和缺陷提出了全新的设计理念。 Ｈ ｏ ｃｖ Ｄ 控制系统选用西门予可编程逻辑控制器作为核心控制器， 设计了上位机监控系统。 反应室的温度控制设计了上位机加温控器控制和底层Ｐ Ｌ ｃ临时托管两种方式。 提出了全新的软件设计思想。 主要设计了步序与循环控制、 报警及故...
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