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188宝金博页面版: 玻璃晶体键合的探讨
内容提示: 巍电暑?激。剩 u r n a lo f O p to e le c tr o n ic s?L a se r镣15卷增刊2 0 0 4 年5月V o I。 1 5S u p p l. 2 0 0 4=========∞∞=======∞∞========∞=======∞∞========㈣=========∞======一=+=一: -玻璃晶体键合的探讨廖星原( 昂纳光通讯公司, 深圳, 518 0 57 )潦耍: 本文研究了采用键会技术把玻璃秘晶体材糕有机的结会, 并应鼹予光学器件的制作。 特别霹突了预处理、 退火簿工序对键合工艺的影响。 结果表溺: 预处理、 逐火等工序都是必不可少的步骤。 随着退火时间的增加, 结合强度鼹著提高。奖键词: 键合; 预处理; 邋火1引言2 理论基础键合技术酶产生綦予这样一稀物理事变: 在室滏条件下, 两块表面平整干净的晶片可以通过表面原子势能吸附在一起, 如果将甄抛光礁片经过化学清...
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