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188宝金博页面版: 质量流量控制器技术说明书

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内容提示: 质量流量控制器和质量流量计 使 使 用 说 明 书 1 1、 、 特点及应用领域 质量流量控制器(Mass Flow Controller 缩写为 MFC)用于对气体的质量流量进行精密丈量和控制。质量流量计(Mass Flow Meter 缩写为 MFM),用于对气体的质量流量进行精密丈量。 S49 系列质量流量控制器和质量流量计特点: *采取主体不锈钢(316L)结构,与气体打仗部分采取铁素体高耐腐化软磁不锈钢、VITON 、聚四氟乙烯等 *适用于种种腐化性气体 *气体流量不因温度、压力的变革而失准 *高精度 *重复性好 *响应速度快、软启动、稳定可靠 *低压降 *事情压力范畴宽(可以在高压或真空条...

文档格式:DOCX | 页数:25 | 浏览次数:95 | 上传日期:2021-04-30 03:37:10 | 文档星级:
质量流量控制器和质量流量计 使 使 用 说 明 书 1 1、 、 特点及应用领域 质量流量控制器(Mass Flow Controller 缩写为 MFC)用于对气体的质量流量进行精密丈量和控制。质量流量计(Mass Flow Meter 缩写为 MFM),用于对气体的质量流量进行精密丈量。 S49 系列质量流量控制器和质量流量计特点: *采取主体不锈钢(316L)结构,与气体打仗部分采取铁素体高耐腐化软磁不锈钢、VITON 、聚四氟乙烯等 *适用于种种腐化性气体 *气体流量不因温度、压力的变革而失准 *高精度 *重复性好 *响应速度快、软启动、稳定可靠 *低压降 *事情压力范畴宽(可以在高压或真空条件下事情)。 *操纵使用方便,可任意位置安装 *便于与盘算机连接实现自动控制。 S49 系列质量流量控制器和质量流量计主要应用领域: R

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