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    188宝金博页面版: 高功率激光装置中的气载分子污染物测量和分析

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    内容提示： 书书书　第２１卷第８期。玻埃埃鼓辏冈虑考す庥肓Ｗ邮郑 ｌ．２１， Ｎｏ．８。粒酰纾，２００９。 ＩＧＨ ＰＯＷＥＲ ＬＡＳＥＲ ＡＮＤ ＰＡＲＴ ＩＣＬＥ ＢＥＡＭＳ文章编号：。保埃埃 ４３２２（２００９）０８ １１５３ ０４高功率激光装置中的气载分子污染物测量和分析余　颖１，　赵　峰２，　李文博２，　张　林３，　袁晓东３（１． 四川 大学 建筑与环境学院， 成都６１００６５；。玻鹂肪彻こ逃邢薰 ， 广东 深圳５１８１０９；３． 中 国 工程物理研究院 激光聚变研究中 心 ， 四川 绵 阳６２１９００）　 　摘　要：　研究了 高功率激光装置光路中 的分子级污染程度。 采用专用空气采样动力 设备及吸附管， 在一定时间 内 对光路中 的空气进行采样并作 痕量分析后， 得出 了 卤 素、 含硫化 合物、 可 溶 性胺类 和 氨、 碳氢 化 合物（Ｃ６ ～Ｃ１６有机物）４类物质在打靶 前后的数密度变...

    文档格式：PDF | 页数：4 | 浏览次数：8 | 上传日期：2014-12-31 18:49:30 | 文档星级：
    书书书　第２１卷第８期。玻埃埃鼓辏冈虑考す庥肓Ｗ邮郑 ｌ．２１， Ｎｏ．８。粒酰纾，２００９。 ＩＧＨ ＰＯＷＥＲ ＬＡＳＥＲ ＡＮＤ ＰＡＲＴ ＩＣＬＥ ＢＥＡＭＳ文章编号：。保埃埃 ４３２２（２００９）０８ １１５３ ０４高功率激光装置中的气载分子污染物测量和分析余　颖１，　赵　峰２，　李文博２，　张　林３，　袁晓东３（１． 四川 大学 建筑与环境学院， 成都６１００６５；。玻鹂肪彻こ逃邢薰 ， 广东 深圳５１８１０９；３． 中 国 工程物理研究院 激光聚变研究中 心 ， 四川 绵 阳６２１９００）　 　摘　要：　研究了 高功率激光装置光路中 的分子级污染程度。 采用专用空气采样动力 设备及吸附管， 在一定时间 内 对光路中 的空气进行采样并作 痕量分析后， 得出 了 卤 素、 含硫化 合物、 可 溶 性胺类 和 氨、 碳氢 化 合物（Ｃ６ ～Ｃ１６有机物）４类物质在打靶 前后的数密度变化。 结果显示： 除含硫化合物外， 其余３种 物 质数密度 超过了 美国Ｎ ＩＦ标准的上限， 其中 氨和可溶性胺类、碳氢化合物的数密度超过较多； 卤 素、含硫化合物、氨和 可溶性胺类的数密度在打靶 后比 打靶 前有所降低， 而碳氢化合物的 数密度在打靶 后比 打靶 前有所升高。 结果表明 在该装置中存在比 较严重的气载分子污染 物 污染。 分析了 气载分子污染 物 数密度 变化 的 原因 以 及可 能 的 产 生源， 并对如何去除这些气载分子污染物提出 了 建议。　 　关键词 ：　高功率激光装置；　光学元件损 伤；　分子级污染物；　痕量分析　 　中 图分类号：　 Ｘ ５０２　 　 　 　文献标志码：　 Ａ　 　高功率激光装置中包括了４００多个大口 径光学元件， 除了部分安装在密封的真空箱体内 ， 大部分透射和反射镜以 及承载这些光学元件的金属框架都曝露在空气中。 尽管所有光学元件是在百级（粒径大于或等于０．５μｍ粒子的最大数密度为３ ５３０ ｍ－３）环境中清洗、装校， 整个装置在万级（粒径大于或等于０．５μｍ粒子的最大数密度为３５３ ０００ ｍ－３）的环境中运行， 但一直存在着激光打靶后尘埃粒子突然增加到１０万级（粒径大于或等于０．５μｍ粒子的最大数密度限值为３５ ３００ ０００ ｍ－３）或者更高的现象， 打靶 结束后尘埃粒子很快消 失。 长时间运行后， 发现玻璃表面出 现不可挥发性的物质。 研究表明［１］： 激光装置内 的密封材料、钕玻璃片包边的粘接材料以 及片腔内 其它材料在高强度氙灯辐照下会产生热解作用， 形成大量的μｍ级悬浮粒子（气溶胶）。 悬浮粒子的直径为亚μｍ到μｍ量级， 在缓慢的沉降过程中容易凝结在元件表面， 造成元件表面污染， 随后在强光作用下可导致片表面损伤。 这种μｍ量级的污染可以 通过高效过滤装置以 及高纯氮气的吹洗来实现去除和稀释。 但通过对Ｎ ＩＦ等国外文献资料［２ ４］的进一步研究， 我们认为在激光装置中还存在更加微。ǎ睿砹考叮 的分子级污染物（ＡＭＣ）， 并已 经对整个装置构成：， 其尺寸比尘埃粒子要小得多， 对整个激光装置的影响大致是损坏透镜［４ ５］及影响化学减反膜的透射率［６］。　 　本文针对激光原型装置运行中出 现的污染现象进行测试， 了解装置光路中ＡＭＣ的情况， 分析光路空气中ＡＭＣ的主要种类和数密度， 找出 了ＡＭＣ的产生源， 尽可能降低其带来的：， 为今后的研究工作提供实验数据。１　测试方法　 　目 前所涉及的ＡＭＣ分析集中于酸性污染物（ＭＡ）、染物（ＭＢ）、有机可凝性污染物（ＭＣ） 和部分掺杂性污染物（ＭＤ）。 从分析学的角 度分为无机分析和有机分析。 对于ＡＭＣ痕量分析， 在空气中采集污染物时抗背景干扰尤为重要， 因此需在洁净室中按照严格的洁净室规范完成采样准备工作。１．１　无机物采样　 　采用能在较大幅度内 自 动背压的无污染动力 系 统— — —ＳＫＣ ＰＣＸＲ ８专业空气采样泵， 对采样时间 精确 控制， 采样泵与高度洁净的吸附管相连接。　 　将准备好的采样装置置于采样区域采样， 使目 标区域的空气以 一定的流速／流 量通过液体吸收剂， 吸收空气中的可溶性气态无机分子污染物（大多数是ＭＡ和ＭＢ）。 其实质是， 在一定条件下， 无机ＡＭＣ分子与水分子或所添加的专用吸收剂分子或离子发生键合、电 离反应， 从而生成相应的阴阳离子。收稿日 期：２００８ １２ ２５；　 　修订日 期：２００９ ０５ １０作者简介 ： 余　颖（１９６９－） ， 女， 硕士， 从事洁净空调、分子过滤研究；ｉｍ ａｇ ｅ ９４６＠１６３．ｃｏｍ。

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