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188宝金博页面版: 一种浸泡式去胶剥离机

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内容提示: (19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 202111487556.4(22)申请日 2021.12.08(71)申请人 江苏晋誉达半导体股份有限公司地址 215600 江苏省苏州市张家港经济技术开发区福新路2号(72)发明人 蒋磊 刘毅 (74)专利代理机构 苏州金项专利代理事务所(普通合伙) 32456代理人 金星(51)Int.Cl.G03F 7/42 (2006.01) (54)发明名称一种浸泡式去胶剥离机(57)摘要本发明公开了一种浸泡式去胶剥离机,包括机架,机架上设置有浸泡腔体,浸泡腔体上设置有操作窗口,机架上位于浸泡腔体的外部设置有底座,底座上竖直升降安...

文档格式:PDF | 页数:11 | 浏览次数:4 | 上传日期:2022-04-23 17:53:16 | 文档星级:
(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 202111487556.4(22)申请日 2021.12.08(71)申请人 江苏晋誉达半导体股份有限公司地址 215600 江苏省苏州市张家港经济技术开发区福新路2号(72)发明人 蒋磊 刘毅 (74)专利代理机构 苏州金项专利代理事务所(普通合伙) 32456代理人 金星(51)Int.Cl.G03F 7/42 (2006.01) (54)发明名称一种浸泡式去胶剥离机(57)摘要本发明公开了一种浸泡式去胶剥离机,包括机架,机架上设置有浸泡腔体,浸泡腔体上设置有操作窗口,机架上位于浸泡腔体的外部设置有底座,底座上竖直升降安装有升降座,该升降座由升降动力装置驱动,升降座上设置有安装座,该安装座设置有处于浸泡腔体上方的安装板,安装板上安装有用于悬挂并且调节花篮角度的悬挂调节装置,悬挂调节装置的下端伸入到浸泡腔体内,并悬挂花篮,浸泡腔体上设置有进液管,浸泡腔体内设置有用于加热化学液的加热装置,该去胶剥离机不但能驱动花篮的升降,而且能驱动花篮倾斜,这样使晶圆处于倾斜状态浸没在化学液中,避免晶圆无规律的位置移动,去胶更彻底。权利要求书1页 说明书5页 附图4页CN 114200795 A2022.03.18CN 114200795 A

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