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(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 202411555561.8(22)申请日 2024.11.04(71)申请人 盐城工业职业技术学院地址 224000 江苏省盐城市解放南路285号盐城工业职业技术学院(72)发明人 林兆擎　刘鸿远　唐涛　杨智鉴　(74)专利代理机构 盐城易动专利代理事务所(特殊普通合伙) 32613专利代理师 张正娜(51)Int.Cl.C23F 1/28 (2006.01)C23F 1/02 (2006.01) (54)发明名称一种铁镍合金快速稳定蚀刻液及其工作方法(57)摘要本发明属于蚀刻加工技术领域，具体涉及一种铁镍合金快速稳定蚀刻液及其工作方法，蚀刻液包括三氯化铁30—40  wt%、盐酸浓度80—140mL/L、硝酸浓度20—60mL/L、次氯酸钠20—50g/L、冰醋酸10—40mL/L、超纯去离子水。蚀刻温度为40℃左右；蚀刻时间为10—60分钟。刻蚀速度20 μ m/min，最大刻蚀量5g/L。本发明对三氯化铁浓度、硝酸浓度、盐酸浓度、次氯酸钠浓度、冰醋酸浓度，以及反应温度进行优化调节，能够避免过度蚀刻或不均匀蚀刻，确保细微结构的精确蚀刻，特别适用于复杂的铁镍合金图案。同时减少副产物的导致沉积或堵塞，加快蚀刻反应的速率，缩短处理时间，从而提高蚀刻效率。权利要求书1页 说明书5页 附图3页CN 119194452 A2024.12.27CN 119194452 A