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    188宝金博页面版: 波面误差的计算机干涉图补偿

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    内容提示： 波 面误 差的 计 算 机 干 涉 图 补 偿溉 君 哗要 检 查 一个具 有 一 定变形 量 的波面,在工 艺 过 程中“零 位”法 被 认 为 是 最 好 的 办法。即 利 用 某些无 象 差 点构 成 一 能 得 到理想球面波 的光 路,或 专 门 设计 一个 光路 使一定的 变 形波 面 最后 转 变成 理 想 球面 波。无 象差点的利 用 受 限 制很 多,不 能 普 遍 适 用。 补偿光路 适 用 性较 好。但 是 过去一 般 用 透 镜 或反 射镜作补 偿 的光 路,总 因 有残 余象 差存 在 而造成很 大限 制。 在大的天 文光 学 镜 面 检 验 中。随着 相对 ? ? 径的 加大 及 非 球而 参 数...

    文档格式：PDF | 页数：5 | 浏览次数：11 | 上传日期：2016-09-13 22:24:36 | 文档星级：
    波 面误 差的 计 算 机 干 涉 图 补 偿溉 君 哗要 检 查 一个具 有 一 定变形 量 的波面,在工 艺 过 程中“零 位”法 被 认 为 是 最 好 的 办法。即 利 用 某些无 象 差 点构 成 一 能 得 到理想球面波 的光 路,或 专 门 设计 一个 光路 使一定的 变 形波 面 最后 转 变成 理 想 球面 波。无 象差点的利 用 受 限 制很 多,不 能 普 遍 适 用。 补偿光路 适 用 性较 好。但 是 过去一 般 用 透 镜 或反 射镜作补 偿 的光 路,总 因 有残 余象 差存 在 而造成很 大限 制。 在大的天 文光 学 镜 面 检 验 中。随着 相对 ? ? 径的 加大 及 非 球而 参 数。 “ 的增大、在 有些 补侩光 路 中剩余 象差 已不 能不 认 真 对付 了。从 另外 ? 均 角 度 看,为 了 检 验一个 镜 面 而专 门 设 计并 制造 一个或 几个 口 径 相 当大 的光学元 件,在经 济 上也 是 很浪 费 的。如 何 尽量避免 使 用 昂 贵 的 高精 度 的光 学元 件来 作 为辅助手 段 也是 光学 工程 中 应 该考虑 的 问 题。计算 机 干 涉图 为 光学 检 验 提 供 ? 新 的 手段,实 质 上 也 是一种“零 位”补偿。在 一 定光 路 中,变 形 的 波 与参 考 球面 波 所应产 生 的干涉 条纹可 以 事 先 用 电 子 计 算机 将 它 算 出,儿二 制成 一张 干涉 条 纹 底 板 。将它 插人 检 验光路 的适 当 位耸 中,则 实际光 路产 生 的 干涉场和这 张 卜 涉 条 纹 底板所 产 生的 二 次 干 涉 条纹,把 共 同 的 变 形 了 的 波 面补偿 掉,剩 下的 只是 参 考 波 与变 形 波 的倾 斜所产生 的 附加直 条纹 组 所 产 生 的二次 干涉 条纹。这应是 一 组 直的 条纹。如 果 在 这 个光 路中 有一个 而是 我们正 在 加 工 的,则 当它没 有达 到 规 定 的形 状时,补偿 后得 到的 条纹将 不是 直的,而 是变 ? 形的。并代表 偏离规 定 形状 的部 分。轴 在? ?,?? 平 面上 观 察 干涉场 ? 图 ? ? 则一个 变 了 形 的波 面与 某 一参 考 球 面 波 在规 定 范围 内 各 点上 的波差 可 写 为。?,、?二? ? ?,?? ? ? ?如果 将 参 考波 在 变 形波 以 平行 于?轴 的某 直为 轴 倾斜一 个 小 角 度,则 将 附 加产生 一组 平行 于?轴 的干 涉 条 纹。于 是波 面差 表 达 式变 成?,、??? ? ?,???小 ? ? ?? ? ?根据? ? ? 式我 们 计算 出 并 制 出 干 涉 条 纹极。再 看实 际干 涉 场 的情 况。我们这 里 先假定 波 差是 轴对 称 的,故座 标 系 转 轴 对方 程 式不 产 生 影 响,变形 的波 面 还是 ? ? ?,?? 附 加 的一组直 的 干 涉 条纹 此 时 不是平 行 于?轴,而是 平行 于绕 原点 ? 转 动了 一 个 ? 角 的?’ 轴? 图 ? ?。但假定所 产生 的直 的条 纹 数 与前者一样,就 是 说,附加 的 波 而 差是 小 ? ???。贝 月总 的波而 差为方 法 的证 明假定 波面 前进 的方 向为 入 轴我们 向着??划??,???? ? ?,???小 ? ?‘ ?? ? ?

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