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188宝金博页面版: 集成芯片结构和形成集成芯片结构的方法

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内容提示: (19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 202310012349.6(22)申请日 2023.01.05(30)优先权数据63/304,114 2022.01.28 US17/750,706 2022.05.23 US(71)申请人 台湾积体电路制造股份有限公司地址 中国台湾新竹(72)发明人 庄学理 邓立峯 吴伟成 (74)专利代理机构 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409专利代理师 章社杲 李伟(51)Int.Cl.H01L 23/485 (2006.01)H01L 21/60 (2006.01) (54)发明名称集成芯片结构和形成集成芯片结构的方法(57)摘要本发明涉及集成芯片结构。集成芯片结构包括设置在衬底上方的介...

文档格式:PDF | 页数:50 | 浏览次数:5 | 上传日期:2023-07-14 17:11:26 | 文档星级:
(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 202310012349.6(22)申请日 2023.01.05(30)优先权数据63/304,114 2022.01.28 US17/750,706 2022.05.23 US(71)申请人 台湾积体电路制造股份有限公司地址 中国台湾新竹(72)发明人 庄学理 邓立峯 吴伟成 (74)专利代理机构 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409专利代理师 章社杲 李伟(51)Int.Cl.H01L 23/485 (2006.01)H01L 21/60 (2006.01) (54)发明名称集成芯片结构和形成集成芯片结构的方法(57)摘要本发明涉及集成芯片结构。集成芯片结构包括设置在衬底上方的介电结构内的一个或多个互连件。接合焊盘具有沿着所述介电结构的顶表面布置的顶表面。其中,如在截面图中所观察的,接合焊盘的顶表面包括彼此横向分隔开非零距离的多个离散的顶表面段,该非零距离在接合焊盘的内侧壁之间延伸。介电结构直接设置在接合焊盘的内侧壁之间。本发明的实施例还提供了形成集成芯片结构的方法。权利要求书2页 说明书18页 附图29页CN 116153891 A2023.05.23CN 116153891 A

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