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188宝金博页面版: 沉积温度对微晶硅薄膜结构特性的影响毕业参照论文
内容提示： ?１７ ６ ?中国太阳能光伏进展沉积温度对微晶硅薄膜结构特性的影响【摘要】【关键词】陈永生郜小勇杨仕娥卢景霄郑州大学物理工程学院材料物理重点实验室郑州’ ４ ５０ ０ ５２采用Ｐ Ｅ Ｃ Ｖ Ｄ 技术， 在玻璃衬底上沉积ｐ ｃ－ Ｓ ｉ： Ｈ 薄膜。 用拉曼光谱， Ｓ Ｅ Ｍ 和ｕ ｖ － 分光光度计对不同沉积温度下沉积的薄膜的结构特性进行表征。 研究发现：沉积温度较低时， 随着沉积温度的升高， 薄膜的晶化率增加； 当沉积温度超过某一温度值时， 随着温度的进一步升高， 薄膜的晶化率降低。 这时， 表面反应由表面扩散限制转变为流量控制。 该温度值随着硅烷含量的降低而降低。等离子体辅助化学气相沉积氢化微晶硅薄膜拉...
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