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188宝金博页面版: NAND闪存芯片封装技术与可靠性研究

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内容提示: 目录摘要………………………………………………………?h b stF a ct…………………………………………………?’ 呓第一章绪论………………………………………………. . 吧第一节引占……………………………………………?O第二节芯片封装技术的迅猛发展……………………………?q1. 2. I芯片封装的目的及发展历程………………………一41. 2. 2N A N D 芯片封装发展现状…………………………. . 吒第三节芯片封装工艺综述…………………………………. . 8第四节论文的主要研究内容和研究意义………………………?】 1第二章新型N A N D 芯片封装结构方案的提出………………………12第三章新...

文档格式:PDF | 页数:62 | 浏览次数:60 | 上传日期:2014-03-27 16:23:02 | 文档星级:
目录摘要………………………………………………………?h b stF a ct…………………………………………………?’ 呓第一章绪论………………………………………………. . 吧第一节引占……………………………………………?O第二节芯片封装技术的迅猛发展……………………………?q1. 2. I芯片封装的目的及发展历程………………………一41. 2. 2N A N D 芯片封装发展现状…………………………. . 吒第三节芯片封装工艺综述…………………………………. . 8第四节论文的主要研究内容和研究意义………………………?】 1第二章新型N A N D 芯片封装结构方案的提出………………………12第三章新型N A N D 芯_ 【}工艺实施方案……………………………16第一节新型N A N D 芯片封装工艺流程方案……………………?16第二节晶圃减薄工艺机理与仞始方案设计……………………. . 17第三节芯片切割工艺机理与韧始方案设汁……………………. . 18第四节引线键合[ 艺机理与初始方案设计……………………??19第四章N A N D 刚存芯片封装工艺问题解决方案……………………?哩I第一节N A N D 封装1艺问题的提出……………………………2l第二节试验设计原理与JM P 试验设计方法……………………?"224 2 1试验设计方法原理………………………………224 2 2JM P 试验设引与数插: 分析流程……………………. . 23第三节品幽减薄工艺的优化方案……………………………"254 3. 】 芯片裂纹失效原因分析…………………………??254. : ; 2芯片强度优化方案设计…………………………?"27第p q 节芯片切割I[ 艺的优化方案……………………………咚l帮丘节引线键合]。 艺的优化方案……………………………?36箱血章N A N D 封装可拓性研究与优化方案………………………一4 1第节N A N D 封装14 靠性问题的提出…………………………?4J第二节扣J肯达尔K irk en d a ll空洞必教研究与优化7 J案……………?q 25 2. 1柯肯达尔空洞失教原因分析………………………?425 2 2柯肯选尔空洞与IM C 生长机理……………………?,435. 2. 3柯f 宁选尔空洞失散优化方案………………………?45第三节封装分层的优化方案………………………………?51

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